基本信息

CHInano中國納博會?經過九年的潛心耕耘，已成為中國規模最大、影響力最廣的納米技術應用產業交流盛會，是納米企業形象展示、產品推介、技術交流、市場拓展的最佳舞臺。
CHInano 2018第九屆納博會組織了1場主報告和13場主題論壇，221個行業報告，邀請國內外院士23人。設置了13000平方米展區，吸引了國內外7個展團、25個國家、1000多家納米技術相關企業參展、參會，展出1300多件納米技術創新產品，大會期間參會參展人數規模超過14016人。

展品范圍

MEMS 加工設備
薄膜成形（汽相淀積、濺射、CVD、覆鍍；曝光系統、蝕刻技術；防腐處理；刻蝕；晶圓鍵合；切割；芯片/導線焊接；封裝；微成形 (注射, 熱壓)；其他生產設備
納米壓印技術
微納米模型；納米壓印生產設備
納米機械
微制程技術
超精度納米機械工藝；超精密加工, 微制造；表面微加工；精細鉆孔；微觀切割；雷射、離子脈沖加工；聚焦離子束系統；微放電加工；超聲波設備等
分析與檢測儀器
光罩缺陷檢測、封裝檢測、表面分析儀器、粗糙度儀、掃描電子顯微鏡、薄膜厚度測量系統；顯微鏡：光學顯微鏡、電子顯微鏡、探針顯微鏡、電子能譜儀；檢漏儀器、靜電負離子空氣凈化機；氣體分析及檢測、分析和測量系統
軟件建模
設計工具、仿真軟件、CAD & CAE分析軟件
MEMS 代工服務
仿真設計、原型測試、產品開發、量產；其他代工服務：圖案形成、薄膜形成、雷射、離子脈沖加工、噴鍍
材料
壓電薄膜材料(ZnO, AIN, PZT)、抗壓材料、附著材料、保護材料；碳納米管、藍寶石、聚合物、陶瓷；LTCC 基板Glass substrate、SiC；磁性材料、鐵電性材料
生物技術
與醫療應用
MEMS 在醫療處理及診斷方面的應用、DDS、納米膠囊；尖端DNA & RNA 技術、微反應器、微流引導等
MEMS 器件
光學MEMS (反射, 光量開關, 掃描等)；射頻MEMS (開關，振蕩器，過濾)；MEMS物理傳感器 (加速傳感器，速率傳感器，壓力傳感器，氣體傳感器，溫度傳感器)；微射流（微流引導，微感應器等）；MEMS執行器（燈，泵）；MEMS電能（燃料電池，微發電機等）；生物/化學MEMS（DNA/RNA技術，化學檢測等）；高復合型MEMS (CMOS/MEMS, LSI/MEMS 一體化)
MEMS 應用
產品 (麥克風,顯示等)；超微型機械人裝置、微型工廠等；傳感器網絡；能量收集

主辦信息

指導單位：
中國科學技術協會
中國科學院
主辦單位：
中國微米納米技術學會
中國半導體行業協會MEMS分會
中國材料研究學會納米材料與器件分會
合作伙伴：
中國半導體行業協會
中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所
中國科學院上海微系統與信息技術研究所
蘇州中科院產業技術創新與育成中心
承辦單位：
江蘇省納米技術產業創新中心
中國半導體行業協會MEMS分會
上海卓格展覽服務有限公司

聯系信息

參展聯系
手機：13584824068
郵箱：wancd@sipac.gov.cn